Bơm phân tử
Model: F-400/3500B; Hãng sản xuất: KYKY/China
Tốc độ bơm (L/s): N₂: 3500; Ar: 3300;
Tỷ số nén N₂: 108; H₂: 5×102
Áp suất cực đại (Pa): ≤ 2×10-6
Mặt bích đầu ra khí: LF100 (DN100 ISO-KF)
Mặt bích đầu vào khí: LF400 (DN400 ISO-K)
Ổ trục: Vòng bi gốm
Thời gian chạy (phút): ≤ 18
Vòng quay định mức (vòng/phút): 13500
Bơm trước được khuyến nghị (L/s): 30
Nhiệt độ nước làm mát (°C): ≤ 25
Dung dịch làm mát: Nước
Tiêu thụ nước làm mát: (L/phút): ≥ 1
Modul điều khiển kết nối: FDIII, TCDPIII
Điện áp đầu vào: (VAC): DC24/AC220V
Trọng lượng (kg): 130 ± 5